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M. D. Nguyen Ferroelectric and Piezoelectric properties of epitaxial PZT f ilms and devices on silicon 2010 M. D. Nguyen Ferroelectric and Piezoelectric properties of epitaxial PZT f ilms and devices on silicon 2010

ISBNISBN ISBN 978-90-365-3047-7 978-90-365-3047-7 978-90-365-3047-7

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&ŝŐƵƌĞ ϰ͘ϴ ƌĞǀĞĂůƐ ƚŚĞ ƉŚĞŶŽŵĞŶŽŶ ŽĨ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ŽĨ ƚŚĞ ^ZKͬWdͬ^ZKͬĞKϮͬz^ͬ^ŝ ĐĂƉĂĐŝƚŽƌƐ͘ /Ŷ ƚŚŝƐ ƐƚƵĚLJ͕ ƚŚĞ ϮϱϬͲŶŵͲƚŚŝĐŬ ;ϬϬϭͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚ Wd ƚŚŝŶĨŝůŵƐǁĞƌĞƵƐĞĚ͘dŚĞŵĞĂƐƵƌĞŵĞŶƚǁĂƐƉĞƌĨŽƌŵĞĚƵƐŝŶŐďŝƉŽůĂƌƉƵůƐĞƐŽĨϮϬϬŬsͬĐŵ ;ƉƵůƐĞ ŚĞŝŐŚƚͿ ŝŶ ĐŽŵďŝŶĂƚŝŽŶ ǁŝƚŚ ƚŚĞ ƉƵůƐĞ ǁŝĚƚŚ ĐŽƌƌĞƐƉŽŶĚŝŶŐ ƚŽ ƚŚĞ ϭ͘ϱ Ŭ,nj ƐŝŐŶĂů ;ƉƵůƐĞ ǁŝĚƚŚ Ε Ϭ͘ϯϯ ŵŝůůŝƐĞĐŽŶĚƐͿ͕ ĂŶĚ ƚŚĞ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ŚLJƐƚĞƌĞƐŝƐ ;WͲͿ ůŽŽƉƐ ǁĞƌĞ ŵĞĂƐƵƌĞĚĂƚrϮϬϬŬsͬĐŵĂŵƉůŝƚƵĚĞĂŶĚϭŬ,njĨƌĞƋƵĞŶĐLJĂĨƚĞƌĐĞƌƚĂŝŶƐǁŝƚĐŚŝŶŐĐLJĐůĞƐ͘EŽ ϴ ĚĞŐƌĂĚĂƚŝŽŶ ŽĨ ƚŚĞ ƌĞŵŶĂŶƚ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ĂĨƚĞƌ ϭϬ  ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐLJĐůĞƐ ǁĂƐ ŽďƐĞƌǀĞĚ͘ dŚŝƐ ŝŶĚŝĐĂƚĞƐ ƚŚĂƚ ƚŚĞ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ĐĂƉĂĐŝƚŽƌƐ ƵƐŝŶŐ ĐŽŶĚƵĐƚŝǀĞͲŽdžŝĚĞ ^ZK ĂƐ ƚŚĞ ĞůĞĐƚƌŽĚĞƐ ƐŝŐŶŝĨŝĐĂŶƚŝŵƉƌŽǀĞƐƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶƐǁŝƚĐŚŝŶŐĂƐĐŽŵƉĂƌĞĚǁŝƚŚƚŚĞŵĞƚĂůĞůĞĐƚƌŽĚĞƐƐƵĐŚĂƐ ƉůĂƚŝŶƵŵ ;WƚͿ͘ dŽ ĐŽŶĨŝƌŵ ƚŚĞ ĨĂƚŝŐƵĞ ƌĞƐŝƐƚĂŶĐĞ ŽĨ Wdͬ^ZK͕ ƚŚĞ WͲ ůŽŽƉƐ Ăƚ ŝŶŝƚŝĂů ƐƚĂŐĞ ϴ ĂŶĚĂĨƚĞƌϭϬ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐĐLJĐůĞƐǁĞƌĞƚĞƐƚĞĚĂƚrϮϬϬŬsͬĐŵĂŵƉůŝƚƵĚĞĂŶĚϭŬ,njĨƌĞƋƵĞŶĐLJ͘ ƐƐŚŽǁŶŝŶ&ŝŐ͘ϰ͘ϴŝŶƐĞƚƐ͕ĂƐŝŵŝůĂƌWͲůŽŽƉǁĂƐŽďƐĞƌǀĞĚŝŶďŽƚŚĐĂƐĞƐ͘ dŽ ĞdžĂŵŝŶĞ ƚŚĞ ƌŽůĞ ŽĨ ĐŽŶĚƵĐƚŝǀĞͲŽdžŝĚĞ ĞůĞĐƚƌŽĚĞƐ ŽŶ ƚŚĞ ƌĞĚƵĐƚŝŽŶ ŽĨ ŽdžLJŐĞŶ ǀĂĐĂŶĐŝĞƐĂĨƚĞƌƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶƐǁŝƚĐŚŝŶŐ͕ƚŚĞŝǀĂůƵĞǁĂƐĞǀĂůƵĂƚĞĚĂƐĂĨƵŶĐƚŝŽŶŽĨƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐLJĐůĞƐ͘ dŚĞ ƌĞůĂƚŝǀĞ ŝŶĚĞƉĞŶĚĞŶĐĞ ŽĨ ŝ ǀĂůƵĞ ĐŽŶĨŝƌŵƐ ƚŚĂƚ ƚŚĞ ĂĐĐƵŵƵůĂƚŝŽŶ ŽĨ ŽdžLJŐĞŶ ǀĂĐĂŶĐŝĞƐĂƚƚŚĞWdͬ^ZKŝŶƚĞƌĨĂĐĞƐŝƐƉƌĞǀĞŶƚĞĚĂĨƚĞƌƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶƐǁŝƚĐŚŝŶŐ͘ 

 &ŝŐƵƌĞ ϰ͘ϵ͗ ĂƉĂĐŝƚĂŶĐĞͬĂƌĞĂ ŽĨ ŝŶƚĞƌĨĂĐŝĂů ůĂLJĞƌ ;ŝ ͬĂƌĞĂͿ ŝŶ Wdͬ^ZK ĐĂƉĂĐŝƚŽƌƐ ĂƐ Ă ĨƵŶĐƚŝŽŶ ŽĨ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐĐLJĐůĞƐ͘

    



3RODUL]DWLRQVZLWFKLQJDQGUROHRIFRQGXFWLYHR[LGHHOHFWURGHV



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&ŝŐƵƌĞ ϰ͘ϭϬ͗ ;ĂͿ ZĞŵŶĂŶƚ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ŽĨ ƚŚĞ ;ϭϭϬͿͲ ĂŶĚ ;ϬϬϭͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚ Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ǀĞƌƐƵƐ ƚŚĞ ŶƵŵďĞƌ ŽĨ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐLJĐůĞƐ͘ dŚĞ ŵĞĂƐƵƌĞŵĞŶƚ ǁĂƐ ƉĞƌĨŽƌŵĞĚ ǁŝƚŚ ďŝƉŽůĂƌ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ƉƵůƐĞ ŽĨ ϮϬϬ ŬsͬĐŵƉƵůƐĞŚĞŝŐŚƚĂŶĚϬ͘ϯϯŵƐ;ϭ͘ϱŬ,njͿƉƵůƐĞǁŝĚƚŚ͘WͲŚLJƐƚĞƌĞƐŝƐůŽŽƉƐǁĞƌĞŵĞĂƐƵƌĞĚǁŝƚŚĂŶ ĂŵƉůŝƚƵĚĞŽĨrϱs;rϮϬϬŬsͬĐŵͿĂŶĚϭŬ,njĨƌĞƋƵĞŶĐLJĨŽƌƚŚĞ;ϭϭϬͿͲĂŶĚ;ϬϬϭͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚWdƚŚŝŶĨŝůŵƐ ϴ ŽŶĞKϮͬz^ͬ^ŝƐƵďƐƚƌĂƚĞƐĂƚŝŶŝƚŝĂůƐƚĂŐĞ;ďͿĂŶĚĂĨƚĞƌϭϬ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐĐLJĐůĞƐ;ĐͿ͘





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 &ŝŐƵƌĞϰ͘ϭϭ͗ZĞŵŶĂŶƚƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶWƌн͕ƐǁŝƚĐŚĞĚƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶWΎĂŶĚŶŽŶͲƐǁŝƚĐŚĞĚƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶWΔŽĨ ƚŚĞ ;ϭϭϬͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚ Ĩŝůŵ ĂƐ Ă ĨƵŶĐƚŝŽŶ ŽĨ ĐƵŵƵůĂƚŝǀĞ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐLJĐůĞƐ ƵƐŝŶŐ ďŝƉŽůĂƌ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐƉƵůƐĞŽĨϮϬϬŬsͬĐŵƉƵůƐĞŚĞŝŐŚƚĂŶĚϬ͘ϯϯŵƐ;ϭ͘ϱŬ,njͿƉƵůƐĞǁŝĚƚŚ͕ĂŶĚŵĞĂƐƵƌĞĚĂƚrϮϬϬ ŬsͬĐŵĂŶĚϭŬ,nj͘

ĐĐŽƌĚŝŶŐ ƚŽ ƚŚĞ ĨŝƌƐƚ ŵŽĚĞů͕ ƐŝŵŝůĂƌ ƚŽ ƚŚĞ ĐĂƐĞ ŽĨ ;ϬϬϭͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚ Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ͕ ƚŚĞ ^ZKŽdžŝĚĞͲĞůĞĐƚƌŽĚĞƐĂĐƚƐĂƐĂƐŽƵƌĐĞŽĨŽdžLJŐĞŶƚŽĐŽŵƉĞŶƐĂƚĞĨŽƌŽdžLJŐĞŶǀĂĐĂŶĐŝĞƐĂƚƚŚĞ ŝŶƚĞƌĨĂĐĞƐ͕ƚŚĞƌĞďLJƚŚĞƌĞĚƵĐƚŝŽŶŽĨWƌĂĨƚĞƌƌĞƉĞĂƚĞĚƐǁŝƚĐŚŝŶŐĐLJĐůĞƐŝƐƉƌĞǀĞŶƚĞĚ͘KŶƚŚĞ ŽƚŚĞƌ ŚĂŶĚ͕ Wƌ ŬĞĞƉƐ ĐŽŶƐƚĂŶƚ ǁŝƚŚ ĂŶ ŝŶĐƌĞĂƐĞ ŝŶ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐLJĐůĞƐ͘ ,ŽǁĞǀĞƌ͕ ĂƐ ĐĂŶ ďĞ ƐĞĞŶ ŝŶ &ŝŐ͘ ϰ͘ϭϭ͕ Wƌ ŽĨ ƚŚĞ ;ϭϭϬͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚ Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ŝƐ ŵŽŶŽƚŽŶŝĐĂůůLJ ŝŶĐƌĞĂƐĞĚ ƵƉ ƚŽ ϵ ƚŚĞ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ŽĨ ϭϬ  ĐLJĐůĞƐ͘ dŚŝƐ ŝŵƉƌŽǀĞŵĞŶƚ ŽĨ Wƌ ŵŝŐŚƚ ďĞ ĞdžƉůĂŝŶĞĚ ďLJ ƚŚĞ ƐĞĐŽŶĚ ŵŽĚĞů͘ ĐĐŽƌĚŝŶŐ ƚŽ ƚŚĞ ƐĞĐŽŶĚ ŵŽĚĞů͕ ƐŽŵĞ ƐƉŽŶƚĂŶĞŽƵƐ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶƐ ǁĞƌĞ ůŽĐŬĞĚ ďLJ ĚĞĨĞĐƚƐĂƚƚŚĞŝŶƚĞƌĨĂĐĞƐďĞƚǁĞĞŶƚǁŝŶͲƌĞůĂƚĞĚĐƌLJƐƚĂůĚŽŵĂŝŶƐŝŶƚŚĞ;ϭϭϬͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚĨŝůŵƐ͘ dŚĞƐĞ ĚĞĨĞĐƚƐ ǁĞƌĞ ŐƌĂĚƵĂůůLJ ƌĞŵŽǀĞĚ ƚŽ ƚŚĞ ĨŝůŵͬĞůĞĐƚƌŽĚĞ ŝŶƚĞƌĨĂĐĞƐ ĂĨƚĞƌ ƌĞƉĞĂƚĞĚ



3RODUL]DWLRQVZLWFKLQJDQGUROHRIFRQGXFWLYHR[LGHHOHFWURGHV



 ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐLJĐůĞƐ ĂŶĚ ƚŚĞ ůŽĐŬĞĚ ƐƉŽŶƚĂŶĞŽƵƐ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ǁĞƌĞ ĨƌĞĞĚ͘ dŚĞƌĞĨŽƌĞ͕ ƚŚĞ ƌĞŵŶĂŶƚƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶŽĨƚŚĞ;ϭϭϬͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚĨŝůŵƐŝŶĐƌĞĂƐĞƐǁŝƚŚŝŶĐƌĞĂƐŝŶŐƐǁŝƚĐŚŝŶŐĐLJĐůĞƐ͘ Ɛ ƐŚŽǁŶ ŝŶ &ŝŐƐ͘ ϰ͘ϭϮ;ďͿ ĂŶĚ ϰ͘ϭϮ;ĚͿ͕ƚŚĞ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐƵƌƌĞŶƚ ŽĨ ƚŚĞ ;ϬϬϭͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚ Ĩŝůŵ ƐŚŽǁƐ ŽŶůLJ ŽŶĞ ƉĞĂŬ ǁŚĞŶ ƚŚĞ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ĚŽŵĂŝŶƐ ĂƌĞ ƐǁŝƚĐŚĞĚ ĂŶĚ ŝƚ ĂůŵŽƐƚ ŬĞĞƉƐ ĐŽŶƐƚĂŶƚ ǁŝƚŚ ŝŶĐƌĞĂƐŝŶŐ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐLJĐůĞƐ͘ tŚĞƌĞĂƐ͕ ƚǁŽ ƉĞĂŬƐ ĂƉƉĞĂƌ ŝŶ ƚŚĞ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐƵƌƌĞŶƚ ŽĨ ƚŚĞ ;ϭϭϬͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚ Ĩŝůŵ ;&ŝŐ͘ ϰ͘ϭϮ;ĂͿͿ͘ /Ŷ &ŝŐƐ͘ ϰ͘ϭϮ;ĂͿ͕ ƚŚĞ ĨŝƌƐƚ ƉĞĂŬ ǀĂůƵĞ ĂƐƐŽĐŝĂƚĞĚ ǁŝƚŚ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ŽĨ ƚŚĞ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ĚŽŵĂŝŶƐ͕ ǁŚŝĐŚ ĂƉƉĞĂƌƐ Ăƚ ŚŝŐŚĞƌ ĞůĞĐƚƌŝĐ ĨŝĞůĚƐ͕ŝƐĨŽƵŶĚƚŽŝŶĐƌĞĂƐĞǁŝƚŚŝŶĐƌĞĂƐŝŶŐƐǁŝƚĐŚŝŶŐĐLJĐůĞƐ;&ŝŐ͘ϰ͘ϭϮ;ĐͿͿ͖ǁŚŝůĞƚŚĞƐĞĐŽŶĚ ƉĞĂŬ ŽĨ ŶŽŶͲĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƉŚĂƐĞ Ăƚ njĞƌŽ ĞůĞĐƚƌŝĐ ĨŝĞůĚ ĚĞĐƌĞĂƐĞƐ ĂŶĚ ƚŚĞŶ ĚŝƐĂƉƉĞĂƌƐ ĂĨƚĞƌ ϱ ϭϬ  ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐLJĐůĞƐ ΀ϱ΁͕ ŝŶĚŝĐĂƚŝŶŐ ƚŚĞ ƉƵƌĞůLJ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ďĞŚĂǀŝŽƌ͘ dŚƵƐ͕ ƚŚĞ ;ϭϭϬͿͲ ŽƌŝĞŶƚĞĚ Ĩŝůŵ ƵŶĚĞƌŐŽĞƐ Ă ƉŚĂƐĞ ƚƌĂŶƐŝƚŝŽŶ ĨƌŽŵ Ă ŵŝdžĞĚ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ Ͳ ĂŶƚŝĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ďĞŚĂǀŝŽƌƚŽĂĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐďĞŚĂǀŝŽƌĂĨƚĞƌƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶƐǁŝƚĐŚŝŶŐ͘ 

 &ŝŐƵƌĞϰ͘ϭϮ͗^ǁŝƚĐŚŝŶŐĐƵƌƌĞŶƚĂĨƚĞƌĐLJĐůŝĐƐǁŝƚĐŚŝŶŐĂĨƚĞƌǀĂƌŝŽƵƐŶƵŵďĞƌŽĨƐǁŝƚĐŚŝŶŐĐLJĐůĞƐ͗ϭĐLJĐůĞ ϴ ;ŝŶŝƚŝĂůƐƚĂŐĞͿĂŶĚϭϬ ĐLJĐůĞƐĨŽƌƚŚĞ;ĂͿ;ϭϭϬͿͲĂŶĚ;ďͿ;ϬϬϭͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚWdƚŚŝŶĨŝůŵƐ͘;ĐͿĂŶĚ;ĚͿƐŚŽǁ ƚŚĞ ǀĂƌŝĂƚŝŽŶƐ ŝŶ ƚŚĞ ŵĂdžŝŵƵŵ ǀĂůƵĞ ŽĨ ƚŚĞ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ĐƵƌƌĞŶƚ ĂƐ Ă ĨƵŶĐƚŝŽŶ ŽĨ ƚŚĞ ŶƵŵďĞƌ ŽĨ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐĐLJĐůĞƐĨŽƌƚŚĞ;ϭϭϬͿͲĂŶĚ;ϬϬϭͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚWdƚŚŝŶĨŝůŵƐ͕ƌĞƐƉĞĐƚŝǀĞůLJ͘





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/Ŷ Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ͕ ƚŚĞ ƐƉŽŶƚĂŶĞŽƵƐ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ůŝĞƐ ĂůŽŶŐ ƚŚĞ ;ϬϬϭͿ ĚŝƌĞĐƚŝŽŶ Žƌ ŝŶ ĂŶ ĞƋƵŝǀĂůĞŶƚĚŝƌĞĐƚŝŽŶ΀ϯϰ΁͘ŶŝŶĐƌĞĂƐĞŝŶƚŚĞĐͲůĂƚƚŝĐĞĐŽŶƐƚĂŶƚ;ŽƌĐͬĂƌĂƚŝŽͿŝŵƉůŝĞƐĂůĂƌŐĞƌ ϰн ĚŝƐƉůĂĐĞŵĞŶƚŽĨƚŚĞĐĞŶƚƌĂůdŝ ŝŽŶ͕ĂŶĚŚĞŶĐĞ͕ƚŚĞƌĞŝƐĂůĂƌŐĞƌƐǁŝƚĐŚŝŶŐƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ΀ϯϱ΁͘ dŚĞ ŚŝŐŚĞƌ Wƌ ǀĂůƵĞ ŽĨ ƚŚĞ Ĩŝůŵ ŽŶ ^dK͕ ŝŶ ƚŚŝƐ ƐƚƵĚLJ͕ ĂůƐŽ ƐƵŐŐĞƐƚƐ ƚŚĂƚ ƚŚĞ ǀĂůƵĞ ŽĨ Wƌ ŝŶĐƌĞĂƐĞĚǁŝƚŚŝŶĐƌĞĂƐŝŶŐĐͬĂƌĂƚŝŽ͘dŚĞŝŶĐƌĞĂƐĞŝŶĐͬĂƌĂƚŝŽĐĂŶďĞĂƐĐƌŝďĞĚƚŽƚŚĞĐŚĂŶŐĞ ŽĨ ƚŚĞ ƚŚĞƌŵĂů ƌĞƐŝĚƵĂů ƐƚƌĞƐƐ ďĞŚĂǀŝŽƌ ŽĨ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ĨƌŽŵ ƚĞŶƐŝůĞͲ ƚŽ ĐŽŵƉƌĞƐƐŝǀĞͲƐƚƌĞƐƐ͘ dŚŝƐƌĞƐƵůƚŚĂƐďĞĞŶĚŝƐĐƵƐƐĞĚŝŶĐŚĂƉƚĞƌϯƐĞĐƚŝŽŶϯ͘ϱ͘ &ŝŐƵƌĞϰ͘ϭϱƉƌĞƐĞŶƚƐƚŚĞĐƌLJƐƚĂůƐƚƌƵĐƚƵƌĞŽĨWdĂƐƚŚĞĨƵŶĐƚŝŽŶŽĨƚĞŵƉĞƌĂƚƵƌĞ͘ƚŚŝŐŚ ƚĞŵƉĞƌĂƚƵƌĞ ;d х dĐ͕ dĐ ŝƐ ƵƌŝĞ ƚĞŵƉĞƌĂƚƵƌĞͿ͕ Wd ŝƐ ĐƵďŝĐ ;ĂсďсĐͿ ;&ŝŐ͘ ϰ͘ϭϱ;ĂͿͿ͘ dŚĞ ƚƌĂŶƐŝƚŝŽŶ ĨƌŽŵ ƉĂƌĂĞůĞĐƚƌŝĐ ƉŚĂƐĞ ;ĂƚdхdĐͿ ƚŽĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƉŚĂƐĞ;Ăƚ d фdĐͿ ŝƐ ŽďƐĞƌǀĞĚ ĚƵƌŝŶŐ ĐŽŽůŝŶŐ ĨƌŽŵ ƚŚĞ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ƚĞŵƉĞƌĂƚƵƌĞ ƚŽ ƌŽŽŵ ƚĞŵƉĞƌĂƚƵƌĞ͘ ĞƉĞŶĚ ŽŶ ƚŚĞ ĐŽŵƉƌĞƐƐŝǀĞŽƌƚĞŶƐŝůĞƐƚƌĞƐƐŐĞŶĞƌĂƚĞĚŝŶƚŚĞWdƚŚŝŶĨŝůŵƐ͕&ŝŐƐ͘ϰ͘ϭϱ;ďͿĂŶĚϰ͘ϭϱ;ĐͿ͕ƚŚĞ ĐͲůĂƚƚŝĐĞƉĂƌĂŵĞƚĞƌŝƐŝŶĐƌĞĂƐĞĚŽƌĚĞĐƌĞĂƐĞĚ͕ƌĞƐƉĞĐƚŝǀĞůLJ͘ Ɛ ŵĞŶƚŝŽŶĞĚ ƉƌĞǀŝŽƵƐůLJ͕ ƐƚƵĚŝĞƐ ŚĂǀĞ ƐŚŽǁŶ ƚŚĂƚ ƚŚĞ ƌĞƐŝĚƵĂů ƐƚƌĞƐƐ ŝŶĚƵĐĞĚ ŝŶ ƚŚĞ Wd ƚŚŝŶ Ĩŝůŵ ŝƐ ŬŶŽǁŶ ƚŽ ĂĨĨĞĐƚ ƚŚĞ ŽƌŝĞŶƚĂƚŝŽŶ ŽĨ ƚŚĞ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ĚŽŵĂŝŶƐ ΀ϴ͕ ϵ͕ ϯϲ΁͘ dĞŶƐŝůĞ ƐƚƌĞƐƐ ƚĞŶĚƐ ƚŽ ĐĂƵƐĞ ƚŚĞ ĚŽŵĂŝŶƐ ŽƌŝŐŝŶĂůůLJ ƉĂƌĂůůĞů ƚŽ ƚŚĞ Ĩŝůŵ ƐƵƌĨĂĐĞ͕ ǁŚŝĐŚ ƌĞƐƵůƚƐŝŶĂƌĞĚƵĐƚŝŽŶŝŶƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ͘/ŶĐŽŶƚƌĂƌLJ͕ĐŽŵƉƌĞƐƐŝǀĞƐƚƌĞƐƐĐĂƵƐĞƐƚŚĞĚŽŵĂŝŶƐƚŽ ŽƌŝĞŶƚĂůŽŶŐƚŚĞůŽŶŐŝƚƵĚŝŶĂůĚŝƌĞĐƚŝŽŶ͕ǁŚŝĐŚŝŶƚƵƌŶǁŝůůĐĂƵƐĞƚŚĞŝŶĐƌĞĂƐĞŽĨƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ͘ dŚĞƐĞ ďĞŚĂǀŝŽƌƐĂƌĞ ŽďƐĞƌǀĞĚ ŝŶ &ŝŐ͘ ϰ͘ϭϲ;ĂͿ͘ &ƵƌƚŚĞƌŵŽƌĞ͕ ŝƚ ĐĂŶ ďĞ ƐĞĞŶƚŚĂƚ ƚŚĞ ƌĞŵŶĂŶƚ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶŝŶĐƌĞĂƐĞƐŵĂƌŬĞĚůLJǁŝƚŚŝŶĐƌĞĂƐĞŽĨƚŚĞůĂƚƚŝĐĞƉĂƌĂŵĞƚĞƌĐͬĂƌĂƚŝŽ;&ŝŐ͘ϰ͘ϭϲ;ďͿͿ͘



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