circuit (IC) , e.g, the polysilicon gate layer, consists of the following steps: CAD Computation for. Manufacturability: Can We Save. VLSI T echnology from Itself?
Ú ÛXÜ ÚÝDÞeß5àáÍâ¡áãÎÝVä©ålÝDæ > Manufacturability: ÚXâlä©çéèêâlëè è'í'î5ä+ÝDïÍÝðVñåIæJÝDÞ òÍáÎóIè'ïålô VLSI ì õXö÷ùø Lavin, Lars Liebmann, t»ú5õ` ûüÎý³üÎö÷þÿÑý
túYõ]¿ Í÷ Í÷ö ü ÿ ý ! Yorktown
! Abstract -"#$%'& )( %* & )areal ! ) ! VLSI *& $% %./ 0 (" " 1& + ( ( 23 & $% / + 4, - 7 9& : !; . &9#?* $ $% CMOS 5 68 5& $ +#+ 4 %*& .@*&(& # %$% !'$ % . & ( * (& . 6BAC ^ ÖoÇ Õ ÔÆ××&ÓÄ × Æ + ?VÆ×É%Ê È3w3%{%X wkx yr| yZ03y{y´|Zw y yx% w3z x%y w3L 03y03|3%w3z } y{yw3xÎ |x y{|Í %|°0%¡%w3x%{} 3y}¥
NVQy3y{=x%3yyyx% yw3y+ 4x 3yyF%
yR %| y+ % x%y}s¢)|%x%3 3z |w3)ox yD} y%z3wC{ y|{yD%
y=x x%|x%yM yb|w }b {{yxK%w3} y
yw } yw x %[|´
{ y
y3%x @ w3{y|y1x%3y/{3%yCz {q {yG
%y3p| 0y% l y | x%y{w3|x% y¥Q3% '3|Qyyw
{|x% y}4 {y {y 03yw x % |1v¤F %w3% 3¸y|x {y'* )y} {
y})y% F {w3 |1 yywx )x {|w y{s y' sx%3 1
%y3%x w x {y[z3yw3y{| ÃsÕ ×*Å & Ã¥ÇÕÔÆ××É%È Ê?ÄÑÃÃ Ø É ÔÄ Å%É ÕÈ × x%3|x/x%{|w3 {?x%3y=®|¯} y z3w y} ° 3|
y D(x,y) w x 3|
yQ wYx%3y x |x%=03ywM| { |x%y} y }L0|y{ photomask |
y¡%y ¡}M’(x,y) x {x%y} w.r.t. D(x,y)
]9 _ A Ø Æ&Ó Ä×Æ + ÖoÇ ÕXÍÉ " É Å Y Ð Õ ÇÇ ÆÔÅ É%Õ È (OPC) ` w3y/ 'x%3y/ x| %% |{V
{ y ¯%w3} 3y} |
y/} x { x% w3=%D®w3yx%y}DR % %|x%y}@ %| °ox%3y5
3yw yw3wGx 3|x¡x%3y 3|{%|x% wJ3|
y1}y
yw3} x%)x 3y {lw3 w | linewidth 0 }x M|w3}Kx%3y {G
| w3zLË®w3yx%y} °E{yy{+x%K |
y|x w3%3
|%w3z3Ì ¡3%} y
yw } yw y=|wCy=} yx y{%w3y} y
%{ |% /¯¯Q / y| 3{%w3zGx%3yYw3¯0|y{0Q%} x%G %%w3y 0 x%53w 0w5 w ¯|4Q%} x%5|w3}4
|%w3z5¯¯1 {1 Y 3%| x% w=3 w3z
3 |% ¯ | y} |x y|x% |Î } y
cV%3ywx%3y@%
y+{y |x % w3 3%
yx 0yyw0|y{
40
¶
30
³ ´µ ¯° ±² «¬ ®
measured correction expected without with
20 10 0 (10)
w L %qzz> wqi¡qqL wq ¢£%¤%¡z¥ ¦¨§ª© ·z¸ ¹º(»½¼¿¾ÀÁªº( ¼ÃÅÄÆÇ%¼(ÈÊÉËiÌq¸ ÍÆ(Â%Î »½ÏÐ%¸ Ñ¿¸ ÌKÒ:ÓÔÏ(»½»L¼(ÍqÌq¸ Ï(Õ 0
1
2
3
4
5
6
{y
|x%x y{wY
|{|yx%y{Qx%3|wQ%} x%Y|w3}
|%w3z3yÎ z x |}} %x % wG %w3yYyw3};|w 3{Vx%;
yw3 |x%yY{% w3y5yw3} {x yw3 w z¦|w3}¦{w y{O y{ ©{O{y} %w3zc {w3y{¯ { 3w3} w zFyyx%³ NVQy3y{'x y9yyx %3yw y/Cx 3yy {3 y¯|y}Ex y3w3* 0 3y/} % %w3%3yGQ3ywRx%3y µ {y+|
%y} x%; {y5
%y U±?%w3x%y{|x % w3 J x %3|x %w3zGx%3yY3 yY %x y{|x %3@ y " Õ + Æ Ø &Ó Ä×Æ + ÔÕÇÇ ÆÔÅ%É%Õ È } y { y} y ) 8:9 ?VÆÈ×É%Å Y Ð Õ Ç ÇÆÔÅ É%Õ È
kw33 y{4 5x 3yR
x ¯
x %|= |
yR} %x% {x % w:yyx% %w3%3} %w3zGx%3 y5%wGyx%3%w3z;|w3} } y
yw3}; w y{y}P:3|
yÌ4|x =× ÄÑÃsÆ + ÆÈ × É Å Y Ë{|x%% wN5|{y|planarization, y3y{|1} y{yw x¡*)y4|%y.{0x%3%={y| w lx%y w3 % z3%yYx%3|xg3 y;39
{ y yC x yw9 w %3} y;}y z3w9{3%y x%3|x w3 x {|%wC w3% ·|w3}C| 3· 3|
yD} yw3%x Dvw z3yw3y{|%%x%g {y=} % 3%x x%5 } %C}y z3w5x%{3x {y x |x %} yw3%x w3 x {|%w3x%·x |wX%xR%¸x%X%w3{y|yZ { } y{y|y0 |Î}yw3%x%=x%3{3z3 |} } x%% w= |
y¸Ë®%% °ÌP {M{y 3|F [w3 w ¯{y 0 non-functional {y}X
|{x w3x% w3|: 3|
yqË®% x%x %w3z3°ÌK3y}y
|{|x%y%j{K w w |x% w l L
yw3 |x% wd|wZy %
%yyw3x%y}´%
%£Ë3x
Mw3 x5y yw3x %Ì;P3 w3zL w33yw3x% w3|Y%|3x y w3z´{P |
yq
{y %w3z´
{ z3{|Kx%X{y|x yq| 3%{x%3|J|{{|Y JÉ Ø%Ø × = ĮåÆ%× b } |{} w3z4x%3 yx% 4% y)x w3x% w3|Q3|
y³[ l{y}3yS{y3%x %w3z9}|x%|;3 %3y| w33 y{ Bx y3w3* 0 3y 3|3y yyw\} y3y%
y}\ {
{y w3z5x 3y={y
{yyw3x |x % w53%w3zC3%y{|{3%|}y z3w
|w }; | |w };
|%w3zG%xl%D3 3|% /ylinewidth | y5x linewidth } yx y{%w3yE|F3w3x % w3|C{3%yFx 3|xC} y{% yx%3yE w 3y{y {y%|x% w33%
¡x |xp ¡z3%3yw;|4} y%{y}S0 }x @|w3}@
|%w3z3 structures[1]. 03|xQ %w3yS0%} x%93 }R|
y|{= wx 3yS |{=y 03%3| ` w3yb
y{|x% w3|?} %% x% } %x%%w3z33%3yO % %w3z8|w3} %yw3x% jQ |xE®{{yx % wk %| °r 3 } yr|
% y}x - % x%x% w3z{ Kx y{J3|
y'
x%¯
{y %w3z3|
y'
yw } y%z3w3y} 3|
y|p3Qw M w . z 3{@ y U |x % w ³¢@ l3y5{y 3 xo%w/x%{ x%3{yV w4x yCQ|y{g} %y{yw3-x . { x%3yF { z3%w3|}y%z3wS e%w3yFx yyFx%{3x%3{y+ | l %|=|wGy5|
% y}S G 3|
yY
{ y %w3z;
{ z {| |yx
|{| x%%Ry yx {%|
{
y{x %y D%x %@w yy |{:x Px 3yd3 w }3y}X {[3y3%w3z}y%z3w´{3 y·ËQ3% |{y3%%= |{|x%y{L )y'x 3y0yyxI s %I|w3}%w y0| y %w33 %3yr y| 3{%w3zk |E0 }x j|w3}
| w z3Ì 9 These x%@
3x%y x%|3%w3z@% 1%w3x +|3w3x1|w3}+3 w3z x%y w3L 03y+|wPyRy x yw3} y}[x%[ |{ |x % w3+x%3|x)%w33 %3y x%3 p%w3{|x%parasitics w=x% w3 {Lx % %w3z % {yÎ
9 B9Õ + Æ Ø &Ó Ä×Æ + ÖoÇÕ(XÍÉ " É Å Y Ð Õ ÇÇ ÆÔÅ É%Õ È ~ }y%¯ |y}7 / { 3% %x F¤ {{yx%% wF|} }{y yGx%3y9| y Ð
{ y|{ y¯ |y} } y{% y}M| 3y %w3zP| } %y{yw3xI|
{| x 3|xI OPC 3y{ yp y' ¥%x 1% x%|x%% w3 Ö { U±¦
|x x%y{w3³ vw3 x y|}d} {yx %q
3x %w3z£x%3y {{yx % w dx%¨ yj|
%y}P|y}¨we%
yN% | w y¯} yw % w3|ky|x%3{y %3y 0 }x ª|w3}¬
|%w3z3 } %%yx 3y/| S |
y4 S3y %MBOPC w3z9x yS|z iteratively {yyyw3xgyx%Qyywx%3y;|¯} y z w3y}R3|
y5|w3}
{ y }y 3%|x% w3) Vx%3y/Q|y{V 3|
yCx%3|xx%3y {{yw3xÎ| = |
y0Q3%}
{} 3yÍ
Modified Layout
ÞCߨàâáäãÔå(å
æWç ãwáwè
Model
Correction
!" # $ %
|w3z3y> w3>|w }k} yF w3{y| w3zx%3y |¡ 3 0w=%W w .%z33{ y Vs window
process
éê ëíìäîKï@ðòñôóaõíöäïä÷ ø*ùäúäû(ïíöaüÊýäþÿê úä÷òîKõê ê þ ôõäîLîKï(þ ê õ
15
@
?> ; |¯}y%z3w3y}´3|
y ÃsÇ>Õ -É + Æ + Å = Æ[Ã¥Ç Õ ÔÆ×× z3 x¡|%} yw3x%|% G®
{%w3x%°53w3}y{0y3x%{yy5
{ y =3|{%| A Ø Æ× x% w3³Pvw}yx%|% x%3y yG%y|w w3z9 x y
C|{2y 03%x yG
% ÔÕÈ " + É Å%+ É ÕÈ Ø × " ÄÅ Ô + = Å = Õ ×+ Æ J®Ç NVÕ " QÙ y3= yÉ%Ô { = Å = ÆCÔ} Õ ÇyÇ pÆÔw3Å É%Õ xÎÈ; Ç {y}3y |x y} Q%w3y+x y@} %y{yw3xV w3 x {|%w3x%| w % x Q|w3} Õx% 3Ç y9|Õ Æ 3סw ÙxVÆ ÇCÆ Æ|Ç
LÉ -y9Æ }. x {x% wRx%3|OPC xD 3{/ y|3 y9 |{yC3 xo y)x%|3yw4w3xox%G%y|w/x%3yC{|K| %x%VG3
{ y [3|{%|x%% w3@yÍ z¥ S3|w3z yM wZ} y |w3}r 3³ x%3|xÎx%3yDw % w3z
{ 3%} y0| %x%|w3yÍ NV 0y y{y3y{|0x y3w3* 0 y5|w{y}3y@x ySyw3%x% 3%x% ¥ |
y0} %x% {x% w3¡x%
{yp3|{ |x % w ³ [:9] Ø Å ÆÇÈ ÄÅ É%È ÊÖ = Ä×Æ ;>= É JÅB9Ä×%$× 10
7.5 5
2.5
`
0 200
w3y[ Sx%3yyN%x%3yP|} } %x% w· × A ÓD&Ç Æ×Õ ØLA Å É%Õ È Ä × ×É%×Å b l3yyN|{yPw |{{Ø × x { z z3y{z×@x%3|x4} ·w x x%features 3yy 3yC |z y/wx 3yG0|y{ 3Qw%Ù w . z3 { y Úp3x 03 /|yxox yY |z3yV x%3yC%w3x yw3} y};y|x%3{ys{y}3 %w3zZx%3y>| w3x9 d03%ry}z3y> |x%% w3L3|{ZQ%x -
400
600
800
1000
1200
1400
1600
1800
vw5FÜDÝ>U Marc Levenson
{
y} x%3y'x%y w3L03y0 ¥|%x y{ w3|x %w3z´
3|y> x | %%x 3z3{|
w [4], 03 [ w |{P { y¯ w3¯z3%(altPSM) |ˤ ` cVÌ photomasks |{y } %%y}9 9x |xx%{|w3
|{yw3x{yz w3C|{yGyx%3y}9
y y3y{|)
yR
3|yF3%x%@wP% z 3x
| %w3zPx%3{ 3z3 x%3yG l yB{y3%x %w3zcw3x%{ x% 3y|w3}¦} yx%{3x %3y
%w3x y{y{yw3yYyyx %3y /} 3 %y x yY
|x% |l{y03yw / (
jbk$l m
#( ##
X-section
noqp(r s t uwv(xPs y zX{G|}q~ r { y(x nop(r s t uv(xs y ^{Q x ~ r { y(x
Intensity sy
{ x ~ r { y(x
¡¢£¤ ¥Q ¦§g¥ ¦ ¨©§ª# «© ¬ ¥§ª ®
¨ ¦¯# °¤
|x x%y{w3x |x1|w; y4
{ w3x%y}l|w3}@{y}3y=x%3y43|{ | % %x% ¥w3|{{ Ey|x%3{y¡0%x {y
yxÎx%
{y ¡ |{ |x % w3
/ x%¯
{y %w3z=x%)z3yw3y{|x y %1 w %} y{| = {y
y;x%3|w@x y3w3* 0 3y=}yaltPSM {% y}S| y͢Rx y5
|x x%y{w3
Jx%3yV
3| yV3%x% w3z){yz3% w } Cw3x3| yVx 3yV |yVx
z S|x%3y/} y z w3y}+y|x {yË
3w } y}+ @x yw3yy} {[|ryw3} trim { block |O wj x altPSM x%y w3L 03y Ì |%x 33z35x%3y z3y yx {
y{|x% w3Qx%5z yw3y{ |x%y;x%3yk|{y;0 x%3%w9x 3y@
yS D%|3xQ y{ |x% w9 { |
y¯
{y %w3zN
{ z {| |Pz3yw3y{|x % w {y 0 {y/|wE|} } %x% w |V
y{|x% AltPSM w3'x y+| % %x%Rx%E® {°
|yF x{yz w3@Ë| %z3wPw3y y3y{|
3| yR 3%x 3| 3yÌ; ·x%3|xYx%3y{y:|{y:
|yP} %y{yw3y9|{9|% {%x %|Í} yw % w=}y%z3w3y} y|x 3{y [5]. z3yw3y{|x%% w3+Q %y x%3y> |% ¦ SRAF z y 3 w y { | x % + w C x {|%z33x%{0|{}¯¯' }yw3x%%S{%x% | } altPSM y%z3w3y}Py|x%3{yDz yw3y{|x yR
3|y 3 x y{ D%y|wN| {3 y9y{{ {' % {5
3| yG¯¯Cx%3y9}y3%D%; wEx%3y9} yx | %
|{x%%3%|{ M%w[x%3y:®%y|w[| L{3%yEy{{{ °:x%y
svw |}} %x % w altSPM z3yw3y{|x% w5%w3x%{} 3y0|=w3yM
{ %yG¢
|y@ {%w3z9w3% x ¬¤ w3 z 3{|x % w Y %3y@ 0µ 5|w3} ®y%xY 33%y°:{y 3 x5 wL
|yE{yz3% w 9x 3|xY|w3w3xY y w3%x%yw x %· {y}¥ Bw33 y{@|
{ |3yR |3y yyw
{
y}x %} yw3x% + 3 w % x Y|w3}|3x% |x% | %Dy % %w3|x y0x y [6]. Ò
'LQ%x
9 Ð = Ä Ø Ø ÆÈÊ Æ×pÕJQÖoÕ×Å*&¶ÃsÇÕ ÔÆ× ×É%È Ê
3yL 3|
y¯
{y%w3zZ¤0± x %Lx Post-processing |%w3x | wkx%3y´{y |x%%3y%j
%y´} y%z3wj{3%y´ w3x%y{|y yx 0yywY
{ y Q|w }5} y%z3wY0Qx y3w % z3%y0|w3}| { |x % w?
{ y y:z3{ B {yK
y34 x; x {y yFx%3y |
| % %x %y= gx%3 yYx% %D|w3};x%3y postprocessing |
% |x % w ³a ¢ . {x%%w {}y{Jx%K
yw3 |x%y0 {J {y'
%y |
y } %x% {x % w |}} %x % w |¥3w3x % w |% x%C Q{y 0 3%{y}¥² |w 3% 3>y |
%yr%>x 3yr%w3x { }3x%% wk L®%3 |x % w
yw z3 w y°´|y}© wk w 3 %3x% wj%w3x%kx% q y} { } y ¯ |y} OPC. ey w } ;x%3y?z3{Qx%dR}y z3w
y3%x ´Ë w3{y|%w3z
w yw3x 3w x 9 w3{y| w3z w33 y{ S| K y3y%Ì+|3y|x4 y| x5
{
{x % w | z3{ 0x G%w;x%3yY| w3x¡
3x%|x% w+' x%3 z3;x%3 = | |w3y}9 %w3{y| yC%w
x y{D
yy}|w3}9|
|%x x%3y{y: 9|:3{x 3y{;
3w3} w z[|x% {)x y:z3{Qx%L |
yC%w3x%y{|x % w/{|} %3³¢+'V0yC } yo|w3}G
yw3|x y {¡ {yD
%yY
%|¥yyx%x%3yD{|w3z y= y{pQ3% |M |
y@%w3 3yw3yEy|[ x%3y{G%w3{y|y@{B w3y w3%3Z%%w3y R%
|yx ; y3y{|¡Ë3
@x Ú; %w3y R
|y5
|%{ { x%y3w3 % z3ÌÑ ¡3 ?%w3{y|y
3x |x % w } %{y90nm x%% |V|x {l Fc Î|w3}5x 3y{yV%|D yw3} |{yyx x%3|xo| w {y| yC
x |x % w/|w }4{y 3%xo} |x |)* )yCy3yw {yÍ¢ x yD®%|x%x%yw3%w3z3°Vyyxx%3|x y3
|w3}} |x |Vx%3|x Qy{y {%z3 w |% ®
{yy} ° y{|{3 | %|3x representation.
.%w3|%%¥|Vx yY3w3x % w |o|w3}G
y{ { |w3yC{y03 {yyw x
{/
x ¯
{ y w3zPx %@|w3}[|
%|x % w3@z3{ |% w3z 0 x%Yx%3y
{y 3{ygx%{y}3y x 0|{y} y y%
yw xx% y x%3y{yC '|C y|{w3yy}G{x %V|w3}/yx%3 } % z3%yVx%/x yx x%3y |w }? |% }|x%yMx%3yL
x%¯
{ y %w3z x 0|{y {y x%¡|{y0 %x x%y}x y3
yw3 yQ3|{}Q|{yÎ before tedEu
SOLUTIONS PROCESS
THAT ARE PART OF THE
ESIGN
l ya
{ %y Q%x 8x 3ya
x%¯
{ y %w3z %3x % w x
{ y ¯%w3}3y}a |
y} x {x% w¨%Zx%3|xK w3 x y|}b {y 0 { w zS} y%z3w3x + y® |w33|x%3{| y°lx%3y; x1 y |w3}`®|w33|x 3{| y8|x y{k
x ¯
“post-processable” { y %w3z3°Í4 ¡3%'%y|} 'x%4x%3y)} %%y |C03y{y)x y
x ¯
{ y {5|
%|x % wE} y3y%
y{x y %Gx y9} y z w3y{YQy |wµ x
x
{ y 3{V}y%z3w3°/|w3}x 3y/}y%z3w3y{'| ®03|xÎ} vs |w3z3y0x %=%gx f»°Î l y9 3/ %3x% wF%/x :y3x%yw3}Ex%3y9} y%z3wR{3%yG x%3y w3x%{| w x somehowcomposing 0 x%x%3y{y 0 3%{yyw3x%01x 3manufacturability y
x%¯
{y %w3z4|
%|x % w
3|y NV 0y3y{gx 3y{y+%5w3R {|
(e.g, { y}3{y= colorability) {p} w3zCx%3%I 5x%3yD3 3||
{|C Qx Y|} } } y%z3wC{3 y {p } %)x%3yD 3w3} wYy3%x% w3zC{3%y w3x % |w3} |{yMyw3 3{y}¥ vpost-processability w@
{|x% yp3 0y3y{¡x 3y/manufacturability {y 3 x%%w3z@}y z3w+{3 y |@ y ?w3y{ |x% 3yLx%3|x/x%3yL w3x%yw } y}? yw3y x%EËyÎ z |{y| } yw3%x%Ì¥x%3y0w3yEx%y w3 % z3= p x l yF 3% @ %3x % wMx Mx%3|xC
{ %y x%[| yFx%3y } y%z3w
{y x% |w } yx%3 } % z3%y ®|w3 |x {%w3z3¯|Q|{y°Í²5x y } %3%x dQ%x dx 3|x [x } yx y{%w3yQ03|xÍ%xÎ y|w3, NVy{y0|{yQ y3y{|Î
% % %x% y³¢
]9ih
×Æ0Å = Æ
Postprocessor Ä ×pÅ
= Æ Ð = ÆÔ$ÆÇ
`
w3y/0|;x%|3 } }y z3w@{ y%x |3y:x%3y:
x%¯
{ post-processability y %w3zL
{ z3{|8
|{xYGx 3y:}y z3w yw 3 { w yw3x G%| w33%w3z£%xS{ |wd w3x%y{|x %3y·%|3x } y%z3w= y % w=|w3} {y
{x %w3z x%p{y3%x px%3y{yQ%%3yQ w3 yw x% w3|¥} y%z3wC{ y=3y3%w3zC
{ z3{|³C l3yD yCx%Yx Q x%3|x¡x 3y
x%¯
{ y {Q 3 xl3|3yY y5| %%x /x%; | *)yGx%3y/{yz3 w3C03y{yG w % x ) 3{Ñ¢[{ x%3y altPSM, 3% 30|y 0Q3y{y
|y) w3 %x%Q3{ .{ z3yw3y{|x% w3 x%3%Q 3%}y|w53%z33%%z33x% w3z
|{x%Q¡SRAF {%x% | y|x%3{y03y{yV| x |
y3%}Cw3 xyV
%|y}C y|3y ¥w3%%x%¡0 x%=x 3y{s| x p {s}y%z3w3y} y|x 3{y >x%3} [7] %w33y x %z3|x%y}@x yYy|% %% x%G Qx 3%=|
{| {V3%w3z { w3} y/ z3%4S%w3x%{} 3 w3z |w altPSMaltPSM
x%¯
{175nm y %w3z
{ z {|§ w x Xx%3y£}y z3w yw 3 { w yw3x93y}r {: y3y{|+
{} 3x % wr
³5 l3y %w3} w3zG0|Vx%3|xl} y%z3w3y{D|y
x%y}Gx%3yY3 yY x%3yY
x ¯
{ y {0| 3y3y{o|w32 } 03 3%G} y y%
y}Sx%3y5| % %x% x%X%X
{ y ·x%3|xx%3yd
x%¯
{y{P3%z33%%z33x%y}¥ / { }3x%%3 x%/Q|D|%;%
{ 3y}G /|}|
x%%w3zGx yY~@ eòN x% x%P|3x% |x %| %: } %:}y z3w ; w x [®
3|y
%[8] |w y° %w3z y{{ {J 3|
yp
{ } y})=x%3y altPSM
x%¯
{y {g
{ z3{|rx%;|}};w3x%{| w x
{ y y}; %w3% M
y{x 3{ |x % w
|x% {Ñ MASH’s
× Æ0Å = Æ ; É "aAØ ÄÅ Õ ÇpÄ ×pÄ Quantative Ð = ÆÔ$ÆÇ ' x%33z3K%w3x%|% %w3z |
%|x % w wKx%3y } y%z3wbyw33%{ w3yw3xLpostprocessing y%% %w3|x%y´x%3yw3yy}a { “post{3%y°V xx% %3|@x 3y %w3|{:®
|R |% ° |processability
yx1 'x%{|} %x % w3|p}y z3w@{ yl
{3%} %w3z@%%x x% y4%w3{ |x% wr{: w yw x %3yq{:
{ 3%w3z´ y{|% l3% z 3xyN|}} {y y} K|} |
manufacx %w3z·x%3y turability. Ø |
{ | = y ) } % = w } y y % x ¯ % % x y } % y % }|w3| Ô%Ç É Å%É%ÔÄ ÄÇÆÄ
8:9-h
[9].
vw3x%y|}9 V|x%{|x% w3zx%3yG
{ y Cyyx C|w3} %w3x >|LyxG {3 yF|w3}>x {y3 }0yL }>varations {3w x%3y
{ y ®{0|{} °Kx%| w3zx%3ye|¯}y z3w y} L|¯y x ¯ {{yx y}G3|
yJ% |x %w3z/x yY
{ y ¯} x {x%y}G0|y{ |
yP|w3}d
3x% w3zZ% |x y}d3| 3yP {F
3 | y|x%3{yx%3|x}yx%y{%w3yP {3%x/ y3|3% {Y 3·| w3x%|x¡|{y|J w3x%y{w3w3yxl{y x |w3yoyx%Í@ l yY{y3%x%L w3effz , 3| 3y 3%}+ y4
|{y}@0 x%Sy yx%{%|1 w x%{| w3x% { {x%3y{V 3%|x%y}x 3y{%@{{yxx % yΦº@{y
y|x% w3z x%3 %3 |x % w@|w3}+|w3| )3y{'x%3y{|w z3yQy3
yx%y}
{ y @3|{%|x%% w3 w %3} %w3zM} y 3+|w3}M 3y{%| x%3y {3%x%¯% x%y} y }`Ë{|x% w j |w33|x%3{y} %{3%x : |x% %w3z>
y{{|w yL|w3}qx y{ w3 x {|%w3x%Ì 3%}Fy9y x % |x yÎ?vwE|}} %x % w Q%xV |y9
% %yx % | * )yE3xC
x%+03y{yE
w3yw3x +z3L xC /
yÍ ` 3x%%} y'|'w3|{{ :
{ y10 w } 0Í|w3}){y%yxIx yy'| x% x%3y0} y z w3y{s{¥ {{yx% w
vwX
{|x %yx ¸|
{|OQ3 }j{y0 3%{yd%z3w3%%|w3x
3x%|x% wB|w3}B0 3%} x%33 y¨ % %x%y}Bx% |% {y 03yw x %¯3 y}Fx%{3x {y% Ù y eòP0~¦y% 4|w } FPGA elements.
Ð 9M] +>+ +GÐ " [ Ø Æ " ÆÈ Å%סPostprocessability ÄÈ Õ Ã¥Õ×É%Å É%Õ È
Ð
A
Õ È × Å Ç Ä É%È Å%×:Å Õ>Å = Æ I Ä(YÍÕ Å
:x%3 {})|
{ |=%px%} %3 }yQx%3y'
{ yL3 y{|{3%|%% ¢ Vy | %w3|x% w x {|} x% w3|Â} y%z3w {3%y
{ z3{|Q|w3}R% |x % w3¯ |y}F
x % )postprocessing |x % w?x%q{y|x%yK |w33|x%3{| yL|%;y y yw3x yÎ z - x%|w } |{}:y %³dvwF{}y{Yx%N{y|x y9|w 3|x%3{| %y93%
C0y: 3 x5|}} composability ÔÕ È×Å%ÇÄ É%È Å%× wKx%3y y%yyw x 2.{gy3|
%yY w/x%3y x%3}¥x%3{yyY 3 w3x%{|%w3x :0y{y· z3z3y x y}qx qaltPSM yw3 {y·x%3|x;|{ %x {|{% ¯
%|y}£ %w3|x%% w3Nx%|w } |{}£y% N0y{y altPSMË| %w3zL w3% F®¯} %yw3 w[%w3x%y{|x%% w3 Ì¢ compliant \ 3x%yw }x y;Q%} x% =y%yyw3x%Yx 3|xQw {=w3%%x 3%}C 3{J yx 0yyw|} '»|yw3x y%yyw3x µ 1 x y{ x
3|y x y{3|
y²{y 0 3%{y)|%sy%yyw3x%'x 4x%|{xJ|w }yw3}/Q%x x%3yS |y@ 3 x y{
3| yg{
{3%} yS {) x ®x%|w3}|{} ° |w }r % {¯{y y{y}°?
yM:y|ry%yyw3x9%wZx%3y % {|{Î|w }C{y 0 3%{y'x%3yV
%|yyw3x
{z3{|·x%)3 yVx%3y |
{
{%|x%yQ
|{ x% .
e3) w x%{| w3x%|
y|{ox%C|} }{y yV Jx%3yV
{ y
|x|y
x%| yN xË|{y|N|w3}¸}y z3w ycomposability {x%Ì y|3 y«x%3y y3
x¦y3%x% w3z w3x%{| w x Ë{Q¯ | y}
%|y yw3x Iy y yw3x¥Q%} x%3%wY} %{yx y=x%y
Ì vx; :
y3%|x%y}qx%3|x@z3 |;{3x% w3z>
{z3{| /Q3%
y{|x%y) w4| } {yx y)z3{%}413|w3w3y%0|w3}/w3} y 0 } y |yw | %y x% 3
manufacturability-driven
constraints.
vw:|} } x%% w:x%: y%w3z:|y
x%| %yx%N x E}y%z3w3y{S|w3} } y%z3w
{ y yx 3yy'w3x%{|%w3x p|{y'
%y|%w3z=x%) %x z {|
y{V|w3}G
{y V} y y%
y{Vy|3 yCx 3y{y}3yCx%3y } %3y{ x%D geometries x 3|xÎ
{ y yp3|3y0x% {y
{} 3yÍ dEuJ¿
ONCLUSIONS
Py03%{y yw3x ª {`vw3x yz3{|x%y}
~%{ y yx%{w3 |{y x x {
%w3zx y´|
| %% x%jL
3 |N x%yq|w3} |x%y{ | Vx%3|xJ%
y yw3xox%3yGGvw3{y|%w3z3%¥x 3%V {x | Q|w9 y;{y}3y}Rx {3z39x%3y;3 y; D
3x%y{¯| }y} } y%z3w=x% p|w } }y%z3w=yx%3} % z y³
]9 Ï"
Ã Ø É%ÔÄÅ É%Õ È×íJÕ Ç?VÆ×É%Ê ÈÅ = ÇÕ A Ê = BÄ È A JÄ ÔÅ A ÇÉ%È Ê ÒoØ ÕÙ vxP%£ w y3%x | %yXx |xPx%3y0|%Pyx%Qyyw©±Vy z w©|w3} ~|w3 |x {%w3zP0 %)3| yRx%[ yR} 0w
post-tapeout
{ y %w3zK|% w3yN0 w¥µ x5|} }{y
{y {y0 {yyw3x% |w }K|x%%%w3zLx%{|} x%% w3|Y} y%z3wL{3%y90% Yw xY| {y manufacturability.
'N} y{% y}£ w eyx% wqv¹V/x%3y{y·|{y·|¸w33 y{R |
{ |3yCx {y|3%w3zx y40|% E l3%C%
% |x%y} ¸x 3y[|x/|x4|w3·z 3yw·x% y[x%3y{y[ Fw3 W x '»3x/®x%3y
{ y °D3x |D{|w3z yD J
{y yI{ |x {yDx%Y|{y% y
y{% yw3x | yxs|%3xs%y%}5|w3 |x {%w3z5{y 3%x { x%3y=%y=x%5
{ yy}s .3{x%3y{ {y{¡| z3%3ywY
{y x%3y{yE|{y: 3%x%
y} %3y{z3yw3xC} y%z3wMx% y9¯¯/a ± P'~+ eâP'~ ASIC, y ¯4|w3}M %¯3x% B% z3%F¯¯/|w3}M|%
%|y 3|{%w3z
{% { x%%y¨w } y3y%
yw3xrx % y83³
y{ { |w3yG ³3%
9} yw3%x +yx%ÍN l3%C|+ y|wx |x x%3y{y|{y43 x%%
%y% 0)|w3}+
;3%x %
%y4x 1yx 3 y} }3{%w3zé}y%z3wé|w } post-tapeout x yw3 {y
|w33|x 3{y/Q%%|
y/w3x%{| w x ) w+x%3y/} y w x% w+|w3}}y3y
yw3xVw3y£x%y3w3 z3 N ¡y3w3 % z |
| % %x 5Q% s3|3y x%4 yy3| 3|x y}5w3xs w3%Y%w5x%y{ 0 w33 y{G% 3y9%w3 3ay|x {y9 L )y9 {Y
x%3 roadmap xI{|x 3y{s =x%3y' |w33|x%3{| y'|w } |
| % %x s yÍ J03|xo3%
G} yw3%x /|w/ yC|3designable %y3y};0 x%/|y
x -| y0} y%z3w= xÍ|w3} x%% y f 'D±Vy z wGx%|{x Vx%;x |3yYwGx 3yC xl g~+|w33|x%3{ w zµ
{ y :
%y x%4x%3y{yK0 %;yKx%{w3z>
{y 3{yKx
{x1x%y3w3 % z3%y)wS x +%} y 'x 3y40|%x 3|x1|w %y|}x% {y3 yQ}y%z3w3p03 %y0
{ y ypy3 3yÎ REFERENCES
.{l%w3¯}y%z3wCx% Î%wC|}} %x % wCx%Yx%3yV
{ y o} %3y{ %x%B w8} y z w % 0·3y3 w z R
x% *) |x%% w {
±5 ¸V ~N ±5 [1] \ %%Chesebro, yw3xcVyw3y{|· x% w= ª.% eLavin, |
y¡ {sMaynard, ¤3%
p|w3} / |3|z3y °5 e¡( / |x%yw3#x Vº c ¶ c F ¶q¶ q ´ù3w3y FÜDÜq¹¥ Ѥ= YÑY P= .p [2] \
· % %x %w3Pati, Wz e x {3x%3{yQGhazanfarian, %W w .|xÎ'y{ |Îv|z3y0Pease, ¤
x |x % w {svd ¤ /|x%x y{w °v \:\C\ l{|w ³ e y®~+z ¹V > FH> 4Vs FÑ
sP c>Uw¯ ¹DÚ Feb, FÜ>ܹ¥ 0 |w3M } P= ®'
{ |x%yQ~} y% [3] { PyBrunner %x /{y \ yFerguson, x%° Uq¹DUqc FÜDÜqc¥ Proc. SPIE Vol ~: 45 |w3< } P= [4] Levenson, {y %3x % w Viswanathan w
3x %x z3{|
3DSimpson, 0 x%=|0
3|y¯ “Imrpoving x %w3z=| 3°v \:\C\ l{|w ³ Electr. ±Vy3%y ¹V( U>Ü ±VyÍD FÜDÝ>U¥ pp1828-1836, P ¸V% ~: c5 Vy [5] ª 4V· yxΤ {%w3z=Lavin, {s'3x E Liebmann, |x %@ cVyw3y{|x % Weinert, w ª / 3|@ y e3%x ~| 3° 5 ep / |x yw3x V Å ÝDÝ ¶ ½ ݪF ¶ ~|{Ñ> F(Ü>ÜDÜ¥ 0 yxÎ| ®'3x |x %@ cVyw3y{|x % w ª / 3|@ y e3%x [6] Wass, ~ | E |3x%¶°0~+%{ y yx%{w3% \ w z3 w yy{%w3z3 ¹V( U ¶
s> F ¶ Ü ¯ FÚDU ª F(Ü>ÜDÚ¥ ´ .¡ ¯ v [7] w\ E | %Liebmann, %w3z='%x y{w3|x %w3Lund, Wz /3| y e E 3 Heng, x y} ~|Graur, =±Vy%z3w3p{¥| .3% E z3%@ cV|x%y E y y ¢0±Vy%z3Mw P3 y¡|w3}±Vy%z3Mw P3 y ¤3y3%w3z3° UDH>HªF Proc. DAC, .¡ ¯ Heng, ´ Lund, E Liebmann, “Aplication [8] ' 3x% |E x%y} ±Vy%z3w=~%z3{|x% w=x% Altarnating PSM ±Vy z w3° UDH>HªF ISPD, ` w=%y%} |3%xÎ} %x%{% x % w3p|w } = ¤ 5 N [9] %3 x y{%w3z=Stapper,
|{x %%y vºµ ~ ´( Py H¥¢ ¶ Uc ¯ ¶¶ Ý ¶
manufacturability
1986.
manufacturability.
l yM
{ %y¦%E3{x 3y{9
%|x y} ¸x%3yL|xGx |x } %y{yw3x | { |x% {OQ% |}
x } %y{yw3x
{ y y
£%
% w3zZ} %y{yw3x} y%z3w£{3 y[x%3|x+{y03%{y } %y{yw3xx% %; {3y3%w3zN|w }N
%|w3yÍ .{x%3y yw3x%Dw3[%w3z3 yRx y3w % z3E{ 3x%y
{ %ySw33y{ z3yw3y0 w x yQ3x {yÍ
8:9 Ï"
Ã Ø É%ÔÄÅ É%Õ È×íJÕ Ç Ð ] ?²±ÕÕ Ø × vw3{y|%w3z5}y|w3} 0 w
{ y yQQ% s{y03 {y w3{y| w3z
y3%x L S
x ¯} y z wM|
%|x % w3x ·
yw3|x y {=
{y ¯ w3}3y}3|
y;} x {x%% w3Nvw9|}} %x % w3x%3y
3x%|x% wq x;z3{ 0N {yKx%3|wq %w3y|{%?Q%x qx%3y
y3%x qx%3y¸} y%z3w3[x 3|x@|{y y w3zd
{ y y}¥ yy:|x {9}{%3y: w {y| y9%wL
x |x % wL{y 0 {y T yw3x%Qx%3|xJ 3x%x%{%
%
{ 3y yw3xs w
yy}¥ l 9%
%yx%3y:w3yy}L {S|%z3 { x%3uni-processor x 3|xY|%yE {y z3{|y % 0%x
{ %y¸* )yV|w }x%3|x|w x%|3yV|} 3|w3x%|z3y x y G x >x% z3 x %¯9|w3}q% y ¯ 3multicomputer
%y}s 4Vyy}D {Q {y53w3x % wG|w3};
y{ {|w3yY w x%3{w} {%3yVx y0w yy}C {J {yV{%z3 { p |% }|x% ws | y} x%Q|{y |w3}|
% |x % w Q3 y} wY
x ¯
{ y w3z5 } y %w3y4x%3yyG|{y/ x%ywx%3y/ |x x |z3y/ y {yG} y%z3w3)Ë|w3} y{{ {Ìs|{yQ %x x%y}x%
3%|Í |{} 0|{yÍ 3x0y3%x0Q%x%|Sw3 y{ =x y{ ®} {yx %3y ° w3x%{| w3%w3z¬} y%z3w3 w %3} %w3z¬x % %w3z3
Qy{|{y| w %y|w3}K
0y{ %w3{y|%w3zMx yF3y{|% | w3xs p
x |x%% wY|w3}x%3yw33 y{pl
x%yw3x% |sx x% x% Í%w3x%y{|x % w3
Ð 9 Ï " Ã Ø É%ÔÄ Å%É%Õ È ×äJÕ Ç³± ÆÔ = È Õ Ø ÕÊY#?VÆ-Æ Ø Õ®Ã " ÆÈ Å l y5%w3{y|%w3z;{y %|w y5
{ y y w;¤'±q
3x%| x% wB|w3} x%3ye y{r3
%%w3zB yx 0yywB} y z wB|w3} -
Devel.,
