Precise Measurements of Surface Roughness with ... - Science Direct

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Control of tribological properties of surfaces in a nanometer scale and on a large ... Si(111) single crystal in the form of periodically arranged barriers 5 nm high ...
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ScienceDirect Physics Procedia 72 (2015) 249 – 252

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1875-3892 © 2015 The Authors. Published by Elsevier B.V. This is an open access article under the CC BY-NC-ND license (http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/). Peer-review under responsibility of the National Research Nuclear University MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute) doi:10.1016/j.phpro.2015.09.076

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